Le spectromètre à fluorescence X est équipé de 2 compteurs mobiles et se déplaçant sur le " cercle goniométrique "analysant les spectres de raies. Selon la longueur d'onde X mesurée, on analyse la composition d'un produit et la quantité relative des éléments contenus dans ce produit en fonction de son spectre de rayonnement X.

On utilise les compteurs à scintillations pour les raies d'énergie supérieure à la raie Ka du zinc et le compteur à flux gazeux ( 10% CH₄ - 90% Ar) par les raies d'énergie plus faible ou égale à Zn Ka .

Le compteur Geiger n'est plus guère utilisé, et le compteur linéaire ( entièrement automatisé et très utile pour le contrôle , mais peu pour la recherche ) n'est pas encore très répandu.

Chaque compteur est étalonné généralement par le fabriquant.

Les impulsions électriques sont pré-amplifiées puis traitées comme un signal par électronique associée.