IFREMER
LYCÉE DE L'HARTELOIRE
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IFREMER LYCÉE DE L'HARTELOIRE |
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LA COLONNE
La colonne électronique constitue la partie centrale de la microsonde, elle est formée d'un canon à électrons, de plusieurs lentilles électromagnétiques, de limiteurs, de bobines de déflexion et d'un microscope optique. Le tout étant placé dans un vide poussé ( 10-3 Pa ) obtenu par des pompes à palettes et une pompe à diffusion. Un vide plus poussé ( 10-5 Pa ) doit être obtenu au niveau du canon à électrons afin de ne pas perturber la stabilité du faisceau d'électrons.
1.LE CANON A ÉLECTRONS
Un filament de tungstène peut être élevé à une haute tension comprise entre 1kV et 40kV en fonction du problème à résoudre. Un courant sonde de 1nA =10–9A à 5µA=5*10-6A sera utilisé en fonction des éléments présents dans l'échantillon. L'accélération des électrons vers les différentes lentilles se fera en maintenant l'anode à un potentiel =0V.
2.LES LENTILLES
ELECTROMAGNETIQUES
Elles permettent de focaliser le faisceau d'électrons sur un point d'impact d'une surface de 1µm2. Pour cela on utilise plusieurs lentilles : les différentes lentilles ont pour but de filtrer et d'affiner le faisceau d'électrons .
- Les premières réduisent l'évasement du faisceau .
- Les dernières affinent le diamètre du faisceau d'électrons jusqu'à un micron mètre carré afin de bombarder l'échantillon sur un volume de l'ordre de 1µm3.
3.LES LIMITEURS ET LES BOBINES
DE DÉFLEXION
Les limiteurs réduisent les erreurs dues aux lentilles.
Les bobines de déflexion permettent techniquement de balayer la surface de l'échantillon et de retrouver le principe du microscope à balayage permettant de réaliser des photos à fort grossissement.